供應(yīng)光學(xué)輪廓儀
規(guī)格 NT9100 NT9300 NT9800
測(cè)試功能 非接觸式,適用于三維形貌,表面,薄膜,摩擦學(xué)
物鏡 1.5倍,2.5倍,10倍,20倍,50倍,可達(dá)0.75至100倍放大倍數(shù),可選長(zhǎng)工作距離,可選自動(dòng)物鏡旋轉(zhuǎn)臺(tái)
視場(chǎng)放大鏡 0.55,0.75,1,1.5,2倍 0.55倍,0.75倍,1,倍,1.5倍,2倍,自動(dòng)感應(yīng)機(jī)動(dòng)選擇器,分級(jí)放大
垂直測(cè)量范圍 標(biāo)配0.1nm至10nm
垂直分辨率 小于0.1nm
垂直少秒速率 24μ米/S 25μ米/S 80μ米/S
RMS重復(fù)率 0.05nm
橫向采樣間隔 0.1―13.2μ米
光學(xué)分辨率 最小可達(dá)0.49μ米